书山有路勤为径，学海无涯苦作舟。西安交通大学机械工程学院田边副教授坚持“微纳小世界，感知大信息”的研究思路，经过十余年对微纳传感技术的攻坚克难，作为第三完成人参与的“高动态MEMS压阻式特种传感器及系列产品”项目，解决了发动机、水下兵器等国防、航空航天以及石化领域中的压力/加速度测量难题，荣获2017年度国家技术发明奖二等奖。
MEMS是一项革命性的新技术，广泛应用于高新技术产业，是一项关系到国家的科技发展、经济繁荣和国防安全的关键技术。在该领域我国相对于国际顶尖水平较为落后，且部分产品对我国实施禁运，严重制约了我国国防、军工以及能源、化工等重要领域的科技发展。正是在此背景下，田边副教授选择了困难较大但是意义重大的微纳传感器为研究方向。
选择出发，就从未停止，田边在MEMS传感器及微纳制造领域一扎就是十年。压阻式压力传感器存在灵敏度与线性度无法兼顾的固有矛盾问题，非线性变形比较大，结构的固有频率提高难，灵敏度等缺点限制了压阻式传感器的发展，所以克服其缺点是设计压阻式系列传感器的一项重要工作。如何解决灵敏度、线性度和固有频率的制约矛盾以提高传感器测量精度，一直是MEMS压阻式传感器行业存在的技术难题。与此同时，针对航空发动机的超高温温度测量难题，进行MEMS热电偶薄膜研究，解决了一直困扰航发高温测量中“测不到、测不准”的问题。“解决系列问题，需要抓住主要矛盾。”十几年来田边一直专注于该领域。
功夫不负有心人，2007年开始从事MEMS微纳传感器相关研究以来，田边发表相关SCI/EI论文47篇，授权发明专利9项，主持并参与国家及省部级项目数项，包括主持国家青年自然基金1项、国家重点基金项目子课题1项、863子课题1项，并参与973、863、重大专项等项目研究。获得国家技术发明奖二等奖、陕西省科学技术奖一等奖、苏州吴江区科技领军人才、西安市机械学会青年学术贡献奖、中国（国际）传感器创新大赛创新设计类别三等奖、中国（国际）传感器创新创业大赛创新设计类别二等奖。谈起自己所获的成绩，他仍然谦逊地说：“我还需要继续努力。”
原载于2019年1月30日西安日报6版
报道链接：http://epaper.xiancn.com/newxarb/html/2019-01/30/content_367272.htm?div=-1
